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半導體實驗室的凈化方案

更新時間:2022-12-22      點擊次數(shù):8206

隨著各類產品生產工藝技術、產品性能的不斷研究開發(fā)、升級和各種使用要求,工業(yè)裝修對空氣潔凈度及污染物的控制要求不斷變化、提高,尤其是5G熱潮襲來、半導體集成電路的高速發(fā)展是潔凈度等級的擴大和控制微粒粒徑日益嚴格的重要標志。

千級凈化工程的應用在機械電子等行業(yè)的裝修設計中較為廣泛使用。千級潔凈室指的是微塵數(shù)量被控制在每立方米1000個以內,同時為了防止?jié)崈艨臻g受外界污染,在室內壓差上也有所要求,通常要求內部壓力(靜壓)>外部壓力(靜壓);潔凈度要求高的空間壓力>潔凈度要求低的空間壓力;潔凈室門的朝向應開向潔凈度級別高的房間。

千級潔凈室要獲得良好的潔凈效果,不僅要著重采取合理的空調凈化措施,而且也要求工藝、建筑及其他專業(yè)采取相應的措施:不但要有合理的設計,而且還要精心的符合規(guī)范的施工安裝,以及正確的使用潔凈室和科學的維護管理。

實驗室凈化空調方案

方案一:傳統(tǒng)的凈化空調設計方案。組合式空氣處理機組里含有各種功能段,如初效過濾段、混合段、表冷段、中效過濾段、二次回風段(或中間段)加濕段、加熱段、風機段等。其中冷源主要由冷水機組提供。

方案二:比較簡單的潔凈空調設計方案。不僅可以大大地縮小機房的面積,還可以讓水冷柜機根據(jù)具體的情況布置在較小的凈化車間內或機房內,同時還可以將增壓風柜布置于機房內或吊在機房內或在夾層內。

方案三:主要用于對室內溫濕度精度要求不高的無塵車間,是最簡易的空調方案??芍苯訉⒎煮w空調柜機布置于車間內,并用彩鋼圍護起來,在柜機回風口處再在彩鋼板上開回風口(帶初效過濾網);風機過濾單元FFU均勻布置于吊頂天花。


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